L400系列超声显微镜（SAT）是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备，主要利用高频超声波，对各类半导体器件、材料进行检测，能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷，并以图形的方式直观展示。在扫描过程中，不会对样品造成损伤，不会影响样品性能，可满足陶瓷基板、IGBT、水冷散热器、电池、半导体、电器焊接件、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等产品质控需求。

整机尺寸

1300mm*1300mm*1600mm（不包含三色灯，最终以设计为准）

水槽尺寸

1150mm*820mm*220mm（以最终设计为准）

有效扫描范围

前后各450mm*450mm*100mm

最大扫描速度

机械配置最大速度：1000mm/s

（实际扫图速度根据不同的分辨率，采集卡硬件配置来决定，如1m/s,0.2mm分辨率下）

图像推荐分辨率

0.5～4000um

重复定位精度

X、Y≤±0.005mm，Z≤±0.01mm

上下水

水压注水，水泵排水。

1

扫描系统

X轴\Y轴：直线电机；Z轴（四通道）：伺服电机驱动

2

水槽

1150mm×820mm×220mm

3

超声发射、接收器

品牌：JSR；型号：DPR500；带宽500MHz

4

高速数据采集卡

品牌：SHANHE；采样频率 ：1GHz

5

工控机

I7处理器，32GB 内存，2TSSD硬盘，Windows 10-64 位操作系统，USB 及网络接口。

6

显示器

两个27"液晶显示器

7

检测软件

山河超声无损检测软件V2.0

8

通讯协议

SECS/GEM接口

手动扫描

可以通过手动的方式生成C扫描图像，反映被检焊接结合面结合情况，并以钎着率、缺陷面积等数值的形式显示检测结果。钎着率计算默认正峰值计算。

探头与C扫图像对位

可通过点击C扫图的具体像素点将探头移至与实际被检工件相对应的位置。

手动分析

对生成的C扫图片可以进行各种编辑，包括加框（确认有效分析区域），测距，修改阈值，图片剪裁，针对弧面图形进行弧面补偿等。

多种扫描模式

主要扫描模式：A扫描模式、C扫描模式、快速扫描、自动扫描、区域扫描等多种扫描模式；

（1） A扫描：对某一定点接收到的超声信号，进行成像处理，横坐标为时间，纵坐标为超声信号，可以反映缺陷的位置、大小信息；

（2） C扫描：对某一深度的截面进行扫描，是X-Y二维平面内移动并选取A扫描特定深度的点的信号成像，显示的是水平截面的缺陷信息；；

（3） 区域扫描：可自定义检测区域，并对检测区域进行扫描；

（4） 批量扫描：对放置于水槽中的一种或多种工件进行自动检测；

（5）一次多层C扫描：≤50层

报告自动生成

扫描后自动生成扫描分析报告，报告中包含：最终扫描图片、各种扫描参数设置等信息，可对检测结果自动进行编辑并输出报告文档。

探头管理

可对不同型号探头进行更换或编辑。

一键自动校准

可自动对检测设备坐标偏移及检测系统能量变化，校准系统漂移，保证检测结果的准确性和稳定性。

不锈钢标准强度

L400系列超声显微镜自带满足GBT 11259-2015《超声波检测用钢对比试块的制作与校验方法》的不锈钢标准块。认定该不锈钢标准块的超声反射强度=100 STSS（“STainless Steel Standard"的缩写），其他所有材料的检测相对于STSS做换算。

缺陷检测能力

焊接缺陷、粘接缺陷、封装分层、粘片空洞等区域和良好区域。

可对缺陷尺寸和面积进行自动统计和计算。也可根据客户的要求，提供有偿定制开发服务。

声速检测

声音在被测材质中的飞行速度。

标准块测量误差

测量机械加工的标准块，在软件进行强度校准的前提下，超声检测多次测量误差在±1%。

缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力0.07毫米（50MHz探头）。

多层扫描方式

具备多层扫描功能，最多可同时扫描50层。

三触发模式

可选择设置三触发模式，减少局部翘曲以及焊料层厚度变化导致的数据门偏离目标波形。

缺陷着色与统计功能

可根据缺陷波形特征（幅值、时间、相位），自由设置缺陷着色阈值对缺陷进行着色处理，根据着色效果，统计单一缺陷和整体缺陷的面积及占比。

黑斑着色与统计功能

可自由设置黑斑着色阈值对黑斑进行着色处理，根据着色效果，统计单一缺陷的数量、面积、面积占比和整体黑斑总面积以及总黑斑占比。

加框着色与统计功能

可根据需要，对特定区域进行加框缺陷着色和统计，可自定义加框的形状、大小，满足任意不规则区域的缺陷面积、占比、数量的计算统计与着色

图像处理及优化

可通过算法处理，增强图像对比度，提升图像细节显示效果，使图像明暗区域差异更明显。