显微镜LED无掩膜曝光系统 UTA-IA系列是不需要使用光罩就可以完成曝光的Pattern投影式曝光设备。

一、产品特点

1．显微镜LED无掩膜曝光系统 UTA-IA系列是不需要使用光罩就可以完成曝光的Pattern投影式曝光设备；

2. 使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪、即可把解像度数μm的任意Pattern投影在涂布光阻的基板上,进行曝光；

3. Pattern可以使用电脑自由操作；

4.显微镜LED无掩膜曝光系统 UTA-IA系列将多种大小,形状以及层状在大气环境下形成电极在单晶薄膜上,比起电子束曝光机价格来的便宜,方便性高.使用时也不需要制作Pattern Mask。

二、产品用途

1. 薄膜FET以及Hole效果量测用试料的电极形成；

2．从石墨烯钼矿石取出薄片，进行矿石特性评价的电极形成；

3. 面向研究开发方向的模式形成。

三、产品特征

1. 因为是显微镜和DLP的组合,所以比现有的系统要便宜的曝光设备；

2. 因为是简单好用的专用软件,所以可以简单的做成各种模式；

3. 用对物镜头的倍率,可以从微细模式到广范围的一次全部曝光；

4. 可安装在所有的显微镜上（根据显微镜的规格要求）；

5. 解像度数μｍ模式成形可以；

6．曝光范围：大2.5mm×1.5mm，最小100um×60um。

四、软件界面

*曝光前可试投影。（使用红光，不会感光）

*用白色光曝光。（可设定曝光时间）